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光学测量方法 2023-11-24 21:09 325 墨鱼

光学测量方法

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?ω? 在光学测量技术中，激光扫描测量技术以其非接触、精度高、应用范围广等优点，已成为工业领域的先行者。光学测量技术原理光学测量技术是利用光的传播和反射原理来测量物体的方法。其主要原理是通过物体表面反射或透射的光线来获取物体的各种信息。光学测量

一、激光测量技术原理激光测量技术是以激光束作为测量射线，通过测量探头测量物体的位置、姿态、距离等参数的技术。激光测量技术的核心是测量装置，包括激光、光路、光学测量原理和技术测量方法特点。测量精度。测量仪器v。棱镜法最常用，精度较高。可以满足大多数应用需求。测量简单。105V棱镜折射仪。测角仪。最小偏转角。该方法较为常用，精度较高，但最小偏转角度的确定较困难。

自适应光学技术通过动态校正组件（如空间光调制器和变形镜）采用特定的像差测量技术和控制方法（如直接波形）。然而，传统的测量和表征方法如扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）、接触探针轮廓仪、共焦显微镜等已逐渐无法满足软件的需求。例如，对于高深比纳米结构，目前还没有合适的测量原理和方法。

并深入了解探头的工作原理，3.对比研究系统结构设计的数学模型，建立探头的定位误差、装配误差与测量精度之间的关系。4.合理选择探头成像系统的光学元件作为基础。基础设计测量系统光学测量技术与应用讲座4.pdf,光学测量技术与应用-激光衍射测量与莫尔条纹技术王峰2013/5/164.1激光衍射测量基本原理衍射现象：传播过程中的光波相遇

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