wafer的缺口叫什么,wafer晶向与notch方向

wafer的缺口叫什么,wafer晶向与notch方向

˙▽˙ 这一步的意义：这可以帮助后续工艺确定晶圆的放置位置。对于定位来说，它也标志着单晶生长的晶体学方向。 严格来说，所有的晶圆都不是圆形的。如果忽略小间隙、边缘等小问题，它的圆形是由工艺决定的。 2012年以来，我国集成电路产业以年均超过20%的速度快速增长。2018年，全行业销售额为6

①晶圆——晶圆wafer就是图中所示的晶圆，由纯硅（Si）组成。 一般分为6英寸、8英寸、12英寸规格，晶圆就是以此晶圆为基础生产的。 晶圆是指用于生产硅半导体集成电路的硅晶圆。晶圆被放置在预对准系统（Pre-Alignment）中进行预对准，找到晶圆缺口（Notch），同时由PA稳定单元中的温度控制单元（WaferTemperature）进行精确的温度控制；然后

2.这些半导体行业经常通过凹口来确定硅片的位置，以实现硅片的边缘对齐。 凹口是指故意在晶圆上形成的缺失角。 3.现有的定位寻边装置一般放置在真实的原晶圆上，原晶圆上通常已经有光滑的边缘或凹口，以便在生产过程中可以识别方向/角度，方便正确的加工。

ˇωˇ Wafernotchchamferingmachinewafernotchchamferingmachinewaferprobewaferprobewaferproberwaferprobewaferprofilerecognitionwaferprofilerecognitionwaferrotationerrorwaferalignmentrotation2,edgechippingandnotchchipping(edgechippingEdge,peripheralchipping,circumferentialchipping,surfacechipping)a局部边缘损伤，不穿透硅晶圆的正面和背面。材料无意中从晶圆表面或边缘脱落。 刻痕贯穿硅片的正面和背面

∪＾∪ 如果你仔细看图6，你会发现晶圆实际上不是很圆。它有一个小凹口。那是因为在制备过程中有一个称为"平面/凹口磨削"的步骤，该步骤被隐藏在前面的描述中。 图8：Flat&Notchonthewafer.Itneedstobeexplainedonlineafterthesiliconingotismade.1.Wafernotch(wafernotchchamferingmachine)wafernotchchamfergrindingmachine(wafernotchchamfergrindingmachine)grinderdictall|base