晶圆的晶向怎么看,钽酸锂晶片与硅晶圆的区别

晶型图谱怎么看 2023-12-03 13:18 963 墨鱼

晶型图谱怎么看

晶圆的晶向怎么看,钽酸锂晶片与硅晶圆的区别

本发明公开了一种识别硅片正负晶向的方法。该方法主要涉及硅片生产及制造工艺领域。首先，用记号笔在晶棒的凹槽一侧画一条线，并记录下来；待晶棒加工完成后，根据所画的线，查看晶粒在硅片中的晶向位置：(0-11)和(0-1-1)实际上可以用作发光表面，但实际的基底通常具有倾斜度。问题如第二张图所示。因此，(0-1-1)平面升高并旋转，即衬底以[0-11]晶向通过圆心。

＋▽＋晶体取向是指晶体的基本特征，即具有方向性。晶格方向不同，晶体的性质也不同。布拉维晶格的晶格点可以看作是排列成一系列相互平行的直线，称为晶体阵列。同一个晶体取向也可以通过晶体取向之间的角度来表达晶体取向的方向。结晶角是两个结晶方向之间的夹角，通常用θ表示。 3.晶面和晶向的关系。晶面和晶向是相互关联的。一个晶面可以对应多个晶向。晶体取向和

对于较大尺寸的晶圆（直径300mm以上），会磨槽以标记晶体取向并进行掺杂EPI。它是指在单晶衬底上生长一层与衬底具有相同晶体取向的单晶薄膜材料。其关键点是反应室设计、气流流型及均匀性、温度均匀性及精度控制、压力控制及稳定性、颗粒及缺陷控制等。扩展分为

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